Nan dènye ane yo, teknoloji Capteur peyi mwen an ap devlope rapidman, ak jaden aplikasyon li yo tou ap agrandi. Kòm kalite ki pi matirite nan teknoloji mezi modèn, nouvo teknoloji, nouvo materyèl ak nouvo pwosesis yo toujou ap émergentes nan jaden an nan detèktè presyon.
Yon Capteur presyon se yon aparèy ki itilize pou detekte siyal presyon yo epi konvèti yo nan siyal elektrik dapre sèten règleman yo. Li se lajman ki itilize nan divès kalite pwodiksyon, endistriyèl ak avyon jaden. ° C) ap echwe, sa ki lakòz echèk mezi presyon. Se poutèt sa, Capteur a presyon segondè tanperati vin tounen yon direksyon rechèch trè enpòtan.
Klasifikasyon nan detèktè presyon segondè tanperati
Dapre diferan materyèl yo itilize, gwo-tanperati detèktè presyon ka divize an polisilicon (poly-Si) segondè-tanperati detèktè presyon, sic-wo tanperati presyon detèktè, SOI (Silisyòm sou ensilatè) Sengaj-gwo presyon Sente, Sosyal Sension Senjèn yo, Senjèn Sansan yo, Silisyòm Sensè Senjon-Senjèn Senjèn yo, Senjèn Sensè Senjon, Optogy Sensè Senjèn. Estati rechèch ak kandida nan SOI segondè-tanperati detèktè presyon yo trè ideyal. Sa ki annapre yo sitou entwodui Capteur a presyon segondè SOI tanperati.
Soi Capteur presyon segondè tanperati
Devlopman nan SOI-wo tanperati detèktè presyon sitou depann sou ogmantasyon de soi materyèl.SOI se Silisyòm sou izolan, ki sitou refere a materyèl la semi-conducteurs ki te fòme ant kouch nan substrate SI ak SI kouch nan kouch tèt ant SIO2 a kouch ak kouch nan, nan la. ak amelyore fyab la nan aparèy la.
Kounye a, SOI -wo tanperati detèktè presyon yo te devlope avèk siksè aletranje, ak tanperati a ap travay se -55 ~ 480 ° C; -55 ~ 500 ° C SOI -wo tanperati presyon Capteur a devlope pa Goodrich Avanse Capteur Teknoloji Sant la nan Etazini yo; Capteur presyon SOI-wo tanperati a devlope pa Enstiti a Leti franse tou te gen yon tanperati k ap travay nan plis pase 400 ° C. enstitisyon rechèch domestic yo tou aktivman pote soti rechèch sou SOI-wo tanperati detèktè presyon, tankou Xi'an Jiaotong Inivèsite, Tianjin University, ak Peking University. Anplis de sa, Futri Future avanse teknoloji Enstiti a rechèch nan FATRI se tou pote soti ki gen rapò travay rechèch, ak pwojè aktyèl la te antre nan etap nan demonstrasyon.
K ap travay prensip nan SOI Capteur presyon tanperati ki wo
Nan prensip, SOI segondè Capteur a presyon tanperati sitou itilize efè a piezoresistive nan yon sèl silisyòm kristal.Lè yon fòs aji sou kristal la Silisyòm, lasi a nan kristal la defòme, ki an vire mennen nan yon chanjman nan mobilite a nan transpòtè, ki kapab lakòz yon chanjman nan rezistans nan Silicon Crystal. kouch pou fòme yon pon wheatstone jan yo montre nan Figi 2 (a); Yon kavite presyon tounen grave sou kouch nan substrate SOI yo fòme yon presyon estrikti sansib.
Figi 2 (a) Wheatstone Bridge
Lè se estrikti a presyon-sansib sibi presyon lè a, rezistans a nan chanjman yo piezoresistor, ki an vire ki lakòz pwodiksyon an vòltaj vout chanje, epi li se valè a presyon mezire nan relasyon ki genyen ant valè a vòltaj pwodiksyon ak valè a rezistans nan piezoresistor la.
Pwosesis fabwikasyon nan SOI Capteur presyon tanperati ki wo
Pwosesis preparasyon pou SOI-wo tanperati presyon Capteur enplike nan pwosesis MEMS miltip. Gen kèk etap kle yo yon ti tan prezante isit la yo konprann pwosesis la nan Capteur a, sitou ki gen ladan preparasyon piezoresistor, preparasyon plon metal, preparasyon pou presyon-sansib fim, ak anbalaj chanm presyon.
Kle nan preparasyon an nan varistè manti nan kontwòl la nan konsantrasyon an dopan ak optimize nan pwosesis la ki vin apre grave bòdi; Kouch nan plon metal sitou sèvi kòm koneksyon an nan pon an Wheatstone; Preparasyon an nan fim nan presyon sansib sitou depann sou pwosesis la gwo twou san fon Silisyòm grave; Anbalaj la nan kavite a anjeneral varye depann sou aplikasyon an nan Capteur a presyon,
Depi aktyèl komèrsyalize detèktè yo presyon segondè-tanperati pa ka byen satisfè kondisyon yo mezi presyon nan anviwònman piman bouk espesyal tankou segondè-tanperati pwi lwil oliv ak aero-motè, rechèch nan lavni sou gwo-tanperati detèktè presyon te vin inevitab.due nan estrikti espesyal li yo ak karakteristik segondè-tanperati, materyèl SOI yo te vin materyèl ideyal pou segondè-temperature santi yo. Rechèch pwochen sou SOI-wo tanperati detèktè presyon yo ta dwe konsantre sou rezoud estabilite a alontèm ak pwoblèm pwòp tèt ou-chofaj nan detèktè nan anviwònman wo-tanperati piman bouk ak amelyore presizyon nan detèktè presyon. aspè.
Natirèlman, avènement de epòk la entelijan egzije tou pou SOI-wo tanperati detèktè presyon konbine avèk lòt teknoloji miltidisiplinè yo pote fonksyon plis entèlijan tankou konpansasyon pwòp tèt ou, pwòp tèt ou-kalibrasyon, ak depo enfòmasyon nan Capteur a, konsa tankou pi bon ranpli misyon an nan detekte konplèks segondè-tanperati presyon anviwònman an. .
Post tan: Feb-13-2023